Καθώς ο παγκόσμιος ανταγωνισμός στη βιομηχανία ημιαγωγών εντείνεται, το υλικό της τρίτης γενιάς ημιαγωγών, το Καρβίδιο του Σίλικου (SiC),είναι όλο και πιο ευνοημένη από διάφορες βιομηχανίες, όπως τα οχήματα νέας ενέργειας, ηλεκτρονική κατασκευή, και αεροδιαστημική.
Υλικό ημιαγωγών τρίτης γενιάς, καρβίδιο του πυριτίου
15W υπέρυθρο Πικοσκόντο Λέιζερ: Ένα εργαλείο ακρίβειας για την επεξεργασία του καρβιδίου του πυριτίου
Σε σύγκριση με τις παραδοσιακές ηλεκτρονικές συσκευές πυριτίου, το καρβίδιο του πυριτίου (SiC) έχει γίνει ένα νέο υλικό υποστρώματος ημιαγωγών λόγω των πολλαπλών πλεονεκτημάτων του.λόγω των σημαντικών διαφορών στις ιδιότητες του υλικού μεταξύ του πυριτίου και του καρβιδίου του πυριτίου, οι υφιστάμενες διαδικασίες κατασκευής IC δεν μπορούν να ανταποκριθούν πλήρως στις απαιτήσεις επεξεργασίας του καρβιδίου του πυριτίου.
Αν ληφθεί για παράδειγμα η τεμαχίσιση κυψελών, η μηχανική πριονιστική, αν και παραδοσιακή μέθοδος, αποδεικνύεται ανεπαρκής όταν πρόκειται για καρβίδιο του πυριτίου.Σχεδόν στο ίδιο επίπεδο με το διαμάντι.Το καρβίδιο του πυριτίου όχι μόνο παράγει μεγάλη ποσότητα κομματιών κατά τη διάρκεια της διαδικασίας πριονισμού, αλλά προκαλεί επίσης ταχεία φθορά των ακριβών λεπίδων πριονιστήριου διαμαντιού.και η θερμότητα που παράγεται μπορεί να επηρεάσει αρνητικά τις ιδιότητες του υλικού.
Πλακέτες από καρβίδιο του πυριτίου
Εντούτοις, η εμφάνιση της τεχνολογίας κοπής λέιζερ με υπερακριβές παλμό χωρίς επαφή έχει παρέχει μια νέα λύση για την επεξεργασία του καρβιδίου του πυριτίου.Αυτή η τεχνολογία μπορεί να μειώσει σημαντικά ή να εξαλείψει την θραύση της άκρης, ελαχιστοποιεί τις μηχανικές αλλαγές στο υλικό (όπως ρωγμές, πιέσεις και άλλα ελαττώματα) και επιτυγχάνει αποτελεσματική και ακριβή κοπή.αυξάνοντας σημαντικά τον αριθμό των τσιπς ανά πλακέτα, μειώνοντας έτσι το κόστος.
Σε διεργασίες όπως η κοπή, η γραφή και η απομάκρυνση λεπτών ταινιών από πλακίδια καρβιδίου του πυριτίου, η τεχνολογία λέιζερ μικροδευτερολέπτου, με τα μοναδικά της πλεονεκτήματα,έχει γίνει η αναγνωρισμένη από τη βιομηχανία προτιμώμενη λύση και διαδραματίζει ολοένα και πιο σημαντικό ρόλο στην καινοτομία των τεχνολογιών επεξεργασίας υλικών.
Το υπέρυθρο λέιζερ 15W που αναπτύχθηκε από την BWT είναι ένα εξαιρετικό παράδειγμα αυτής της τεχνολογίας.Αυτό το προϊόν όχι μόνο διαθέτει όλα τα προαναφερθέντα πλεονεκτήματα, αλλά μπορεί επίσης να προσαρμοστεί σύμφωνα με τις ανάγκες του πελάτηΤο μήκος κύματος του είναι 1064 nm, με πλάτους παλμών που κυμαίνονται από 10 ps έως 150 ps, και τα ποσοστά επανάληψης ρυθμίζονται ελεύθερα μεταξύ 5 kHz και 1000 kHz, με μέση ισχύ > 15 W στα 50 kHz.Υποστηρίζει επιλογή αριθμών σιδηροδρομικής κίνησης από 1 έως 10, με M2 < 1.4Η ακρίβεια της σηματοδότησης της δέσμης είναι < 50 urad, εξασφαλίζοντας κάθε φορά ακριβή και άψογη επεξεργασία.
BWT 15W Πικοδευτερόλεπτο υπέρυθρο λέιζερ
Σε πρακτικές εφαρμογές, το υπεριώδες λέιζερ BWT 15W picosecond προσφέρει σημαντικά πλεονεκτήματα,όχι μόνο βελτιώνοντας σημαντικά την ταχύτητα επεξεργασίας, αλλά και επιτυγχάνοντας ποιοτικό άλμα στη συνοχή της ποιότητας του προϊόντος και την απόδοσηΗ ανάλυση εικόνας από ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης δείχνει ότι οι άκρες που επεξεργάζονται με λέιζερ μικροδευτερολέπτου είναι πιο ομαλές, χωρίς σχεδόν να δημιουργούνται μικροσκέπασματα.
Επεξεργασία καρβιδίου πυριτίου με λέιζερ BWT
Υπόθεση εφαρμογής: Τροποποίηση και κοπή πλακών καρβιδίου πυριτίου
Απαιτήσεις των πελατών
Για να καλύψουν την αυξανόμενη ζήτηση για τσιπ ισχύος στον τομέα της υψηλής παραγωγής, πολλοί πελάτες επιθυμούν να βελτιώσουν την αποδοτικότητα και την απόδοση της επεξεργασίας.επιδιώκουν την επίτευξη εξαιρετικής ποιότητας μεταποίησης, με αόρατα κόψιμα που δεν αφήνουν σημάδια αποσβεσμού, ανώτερη ευθεία και ελάχιστη θραύση των ακρών.Η μείωση των απωλειών υλικού και η μεγιστοποίηση της απόδοσης των κυψελών είναι βασικές ανησυχίες για τους πελάτες.
Προκλήσεις Επεξεργασίας
Η υψηλή σκληρότητα του καρβιδίου του πυριτίου καθιστά δύσκολο να επιτευχθούν ιδανικά αποτελέσματα επεξεργασίας με τις παραδοσιακές μεθόδους μηχανικής κοπής.ο έλεγχος των παραμέτρων κατά τη διάρκεια της διαδικασίας κοπής με λέιζερ είναι εξαιρετικά περίπλοκος, συμπεριλαμβανομένων παραγόντων όπως η ενέργεια ενός ελαστικού παλμού, η απόσταση τροφοδοσίας, η συχνότητα επανάληψης του παλμού, το πλάτος του παλμού και η ταχύτητα σάρωσης.Αυτές οι παραμέτροι επηρεάζουν σημαντικά το πλάτος των ζωνών αφαίρεσης τόσο στις άνω όσο και στις κάτω επιφάνειεςΕπιπλέον, λόγω του υψηλού δείκτη διάθλασης του καρβιδίου του πυριτίου, η θέση εστίασης απαιτεί υψηλή ακρίβεια κίνησης,που απαιτεί την ένταξη λειτουργίας παρακολούθησης εστίασης, μαζί με την παρακολούθηση σε πραγματικό χρόνο και την αντιστάθμιση των διαφορών εστίασης.
Λύση
1Πολλαπλή τεχνολογία εστίασης: Με τη χρήση της τεχνολογίας διαμόρφωσης φάσης, ο αριθμός, η θέση και η ενέργεια των εστιακών σημείων μπορούν να ρυθμίζονται ευέλικτα.Πολλαπλά εστιακά σημεία παράγονται κατά μήκος του οπτικού άξονα εντός της πλάκαςΗ προσέγγιση αυτή αυξάνει σημαντικά την απόδοση κοπής και ελέγχει αποτελεσματικά τη δημιουργία αξιακών ρωγμών.
2Τεχνολογία Διόρθωσης Αβερασίας: Για την αντιμετώπιση της σφαιρικής αβερασίας που προκαλείται από τη διαφορά του δείκτη διάθλασης,χρησιμοποιείται προηγμένη τεχνολογία διόρθωσης αποκλίσεις για τη σημαντική βελτίωση της κατανομής ενέργειας της ακτίνας λέιζερ, διασφαλίζοντας ότι η ενέργεια του λέιζερ είναι πιο συγκεντρωμένη, βελτιώνοντας έτσι τόσο την ποιότητα όσο και την αποτελεσματικότητα της κοπής των κυψελών.
3Τεχνολογία παρακολούθησης εστίασης: Με την παρακολούθηση των διακυμάνσεων εστίασης που προκαλούνται από κυματισμούς επιφάνειας κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας,εφαρμόζεται αντιστάθμιση σε πραγματικό χρόνο για να εξασφαλίζεται η σταθερότητα της θέσης εστίασης κατά τη διάρκεια της διαδικασίας κοπής, εξασφαλίζοντας έτσι σταθερή ποιότητα κοπής.
Μικροσκοπικά αποτελέσματα μετά την τροποποίηση με λέιζερ
Μικροσκοπικές επιδράσεις μετά τη λαμίνωση και τη διάσπαση
Μικροσκοπικές επιδράσεις διατομής πλακιδίων
Το BWT 15W picosecond υπέρυθρο λέιζερ, με τα πλεονεκτήματά του στη σταθερότητα, την ευελιξία επεξεργασίας,και προσαρμοστικότητα του υλικού, πρόκειται να γίνει ο βασικός εξοπλισμός στη βιομηχανία επεξεργασίας καρβιδίου του πυριτίου, οδηγώντας τον μετασχηματισμό της βιομηχανίας.
Καθώς ο παγκόσμιος ανταγωνισμός στη βιομηχανία ημιαγωγών εντείνεται, το υλικό της τρίτης γενιάς ημιαγωγών, το Καρβίδιο του Σίλικου (SiC),είναι όλο και πιο ευνοημένη από διάφορες βιομηχανίες, όπως τα οχήματα νέας ενέργειας, ηλεκτρονική κατασκευή, και αεροδιαστημική.
Υλικό ημιαγωγών τρίτης γενιάς, καρβίδιο του πυριτίου
15W υπέρυθρο Πικοσκόντο Λέιζερ: Ένα εργαλείο ακρίβειας για την επεξεργασία του καρβιδίου του πυριτίου
Σε σύγκριση με τις παραδοσιακές ηλεκτρονικές συσκευές πυριτίου, το καρβίδιο του πυριτίου (SiC) έχει γίνει ένα νέο υλικό υποστρώματος ημιαγωγών λόγω των πολλαπλών πλεονεκτημάτων του.λόγω των σημαντικών διαφορών στις ιδιότητες του υλικού μεταξύ του πυριτίου και του καρβιδίου του πυριτίου, οι υφιστάμενες διαδικασίες κατασκευής IC δεν μπορούν να ανταποκριθούν πλήρως στις απαιτήσεις επεξεργασίας του καρβιδίου του πυριτίου.
Αν ληφθεί για παράδειγμα η τεμαχίσιση κυψελών, η μηχανική πριονιστική, αν και παραδοσιακή μέθοδος, αποδεικνύεται ανεπαρκής όταν πρόκειται για καρβίδιο του πυριτίου.Σχεδόν στο ίδιο επίπεδο με το διαμάντι.Το καρβίδιο του πυριτίου όχι μόνο παράγει μεγάλη ποσότητα κομματιών κατά τη διάρκεια της διαδικασίας πριονισμού, αλλά προκαλεί επίσης ταχεία φθορά των ακριβών λεπίδων πριονιστήριου διαμαντιού.και η θερμότητα που παράγεται μπορεί να επηρεάσει αρνητικά τις ιδιότητες του υλικού.
Πλακέτες από καρβίδιο του πυριτίου
Εντούτοις, η εμφάνιση της τεχνολογίας κοπής λέιζερ με υπερακριβές παλμό χωρίς επαφή έχει παρέχει μια νέα λύση για την επεξεργασία του καρβιδίου του πυριτίου.Αυτή η τεχνολογία μπορεί να μειώσει σημαντικά ή να εξαλείψει την θραύση της άκρης, ελαχιστοποιεί τις μηχανικές αλλαγές στο υλικό (όπως ρωγμές, πιέσεις και άλλα ελαττώματα) και επιτυγχάνει αποτελεσματική και ακριβή κοπή.αυξάνοντας σημαντικά τον αριθμό των τσιπς ανά πλακέτα, μειώνοντας έτσι το κόστος.
Σε διεργασίες όπως η κοπή, η γραφή και η απομάκρυνση λεπτών ταινιών από πλακίδια καρβιδίου του πυριτίου, η τεχνολογία λέιζερ μικροδευτερολέπτου, με τα μοναδικά της πλεονεκτήματα,έχει γίνει η αναγνωρισμένη από τη βιομηχανία προτιμώμενη λύση και διαδραματίζει ολοένα και πιο σημαντικό ρόλο στην καινοτομία των τεχνολογιών επεξεργασίας υλικών.
Το υπέρυθρο λέιζερ 15W που αναπτύχθηκε από την BWT είναι ένα εξαιρετικό παράδειγμα αυτής της τεχνολογίας.Αυτό το προϊόν όχι μόνο διαθέτει όλα τα προαναφερθέντα πλεονεκτήματα, αλλά μπορεί επίσης να προσαρμοστεί σύμφωνα με τις ανάγκες του πελάτηΤο μήκος κύματος του είναι 1064 nm, με πλάτους παλμών που κυμαίνονται από 10 ps έως 150 ps, και τα ποσοστά επανάληψης ρυθμίζονται ελεύθερα μεταξύ 5 kHz και 1000 kHz, με μέση ισχύ > 15 W στα 50 kHz.Υποστηρίζει επιλογή αριθμών σιδηροδρομικής κίνησης από 1 έως 10, με M2 < 1.4Η ακρίβεια της σηματοδότησης της δέσμης είναι < 50 urad, εξασφαλίζοντας κάθε φορά ακριβή και άψογη επεξεργασία.
BWT 15W Πικοδευτερόλεπτο υπέρυθρο λέιζερ
Σε πρακτικές εφαρμογές, το υπεριώδες λέιζερ BWT 15W picosecond προσφέρει σημαντικά πλεονεκτήματα,όχι μόνο βελτιώνοντας σημαντικά την ταχύτητα επεξεργασίας, αλλά και επιτυγχάνοντας ποιοτικό άλμα στη συνοχή της ποιότητας του προϊόντος και την απόδοσηΗ ανάλυση εικόνας από ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης δείχνει ότι οι άκρες που επεξεργάζονται με λέιζερ μικροδευτερολέπτου είναι πιο ομαλές, χωρίς σχεδόν να δημιουργούνται μικροσκέπασματα.
Επεξεργασία καρβιδίου πυριτίου με λέιζερ BWT
Υπόθεση εφαρμογής: Τροποποίηση και κοπή πλακών καρβιδίου πυριτίου
Απαιτήσεις των πελατών
Για να καλύψουν την αυξανόμενη ζήτηση για τσιπ ισχύος στον τομέα της υψηλής παραγωγής, πολλοί πελάτες επιθυμούν να βελτιώσουν την αποδοτικότητα και την απόδοση της επεξεργασίας.επιδιώκουν την επίτευξη εξαιρετικής ποιότητας μεταποίησης, με αόρατα κόψιμα που δεν αφήνουν σημάδια αποσβεσμού, ανώτερη ευθεία και ελάχιστη θραύση των ακρών.Η μείωση των απωλειών υλικού και η μεγιστοποίηση της απόδοσης των κυψελών είναι βασικές ανησυχίες για τους πελάτες.
Προκλήσεις Επεξεργασίας
Η υψηλή σκληρότητα του καρβιδίου του πυριτίου καθιστά δύσκολο να επιτευχθούν ιδανικά αποτελέσματα επεξεργασίας με τις παραδοσιακές μεθόδους μηχανικής κοπής.ο έλεγχος των παραμέτρων κατά τη διάρκεια της διαδικασίας κοπής με λέιζερ είναι εξαιρετικά περίπλοκος, συμπεριλαμβανομένων παραγόντων όπως η ενέργεια ενός ελαστικού παλμού, η απόσταση τροφοδοσίας, η συχνότητα επανάληψης του παλμού, το πλάτος του παλμού και η ταχύτητα σάρωσης.Αυτές οι παραμέτροι επηρεάζουν σημαντικά το πλάτος των ζωνών αφαίρεσης τόσο στις άνω όσο και στις κάτω επιφάνειεςΕπιπλέον, λόγω του υψηλού δείκτη διάθλασης του καρβιδίου του πυριτίου, η θέση εστίασης απαιτεί υψηλή ακρίβεια κίνησης,που απαιτεί την ένταξη λειτουργίας παρακολούθησης εστίασης, μαζί με την παρακολούθηση σε πραγματικό χρόνο και την αντιστάθμιση των διαφορών εστίασης.
Λύση
1Πολλαπλή τεχνολογία εστίασης: Με τη χρήση της τεχνολογίας διαμόρφωσης φάσης, ο αριθμός, η θέση και η ενέργεια των εστιακών σημείων μπορούν να ρυθμίζονται ευέλικτα.Πολλαπλά εστιακά σημεία παράγονται κατά μήκος του οπτικού άξονα εντός της πλάκαςΗ προσέγγιση αυτή αυξάνει σημαντικά την απόδοση κοπής και ελέγχει αποτελεσματικά τη δημιουργία αξιακών ρωγμών.
2Τεχνολογία Διόρθωσης Αβερασίας: Για την αντιμετώπιση της σφαιρικής αβερασίας που προκαλείται από τη διαφορά του δείκτη διάθλασης,χρησιμοποιείται προηγμένη τεχνολογία διόρθωσης αποκλίσεις για τη σημαντική βελτίωση της κατανομής ενέργειας της ακτίνας λέιζερ, διασφαλίζοντας ότι η ενέργεια του λέιζερ είναι πιο συγκεντρωμένη, βελτιώνοντας έτσι τόσο την ποιότητα όσο και την αποτελεσματικότητα της κοπής των κυψελών.
3Τεχνολογία παρακολούθησης εστίασης: Με την παρακολούθηση των διακυμάνσεων εστίασης που προκαλούνται από κυματισμούς επιφάνειας κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας,εφαρμόζεται αντιστάθμιση σε πραγματικό χρόνο για να εξασφαλίζεται η σταθερότητα της θέσης εστίασης κατά τη διάρκεια της διαδικασίας κοπής, εξασφαλίζοντας έτσι σταθερή ποιότητα κοπής.
Μικροσκοπικά αποτελέσματα μετά την τροποποίηση με λέιζερ
Μικροσκοπικές επιδράσεις μετά τη λαμίνωση και τη διάσπαση
Μικροσκοπικές επιδράσεις διατομής πλακιδίων
Το BWT 15W picosecond υπέρυθρο λέιζερ, με τα πλεονεκτήματά του στη σταθερότητα, την ευελιξία επεξεργασίας,και προσαρμοστικότητα του υλικού, πρόκειται να γίνει ο βασικός εξοπλισμός στη βιομηχανία επεξεργασίας καρβιδίου του πυριτίου, οδηγώντας τον μετασχηματισμό της βιομηχανίας.
